类金刚石
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关键词:类金刚石 血液相容性 纳米硬度 耐磨性
采用真空弧源沉积技术在钛合金及Si(100)表面合成DLC薄膜,通过控制离子能量调整DLC薄膜中的SP3/SP2比值。研究表明,薄膜硬度可达96GPa,随着离子轰击效果的增强,薄膜的硬度先增加,后有明显降低。而随着离子轰击效果的增强,类金刚石薄膜中,SP2键增加,SP3键从75%明显减少到59%,薄膜的血液相容性却逐渐提高,DLC薄膜具有优异的耐磨性,摩擦系数低,且与钛合金基体结合牢固。
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关键词:双离子束溅射淀积 DLC 膜 电阻率
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一种高硬度类金刚石多层薄膜的制备方法,其步骤为,先对基体进行溅射 清洗,然后用磁过滤阴极真空弧沉积方法沉积类金刚石薄膜,沉积作法为:关 闭真空室,抽真空到10-3Pa,开启石墨阴极弧源,在基体上加-50V~-200V的负 偏压;同时,周期性地通入99.99%氩气,控制周期为120-600秒,通入氩气时 间为控制周期的10%~50%,通气时真空室内的氩气压强为0.01~0.1Pa;关闭氩 气的时间为控制周期的90%~50%,此时真空室的真空度为10-4~10-3Pa;控制周期 3~50个。其工艺简单,成本低廉,制得的薄膜结合力强,硬度高、厚度大,应 力小,机械、摩擦学性能优异;在工业应用领域有广泛的应用空间。
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