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贾玲
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大气中烧结多孔氮化硅的相变和氧化机理研究
关键词:大气烧结 多孔氮化硅 相变 氧化 机理
以α-Si_3N_4为原料,分别以 Y_2O_3-Al_2O_3和 MgO- Al_2O_3-SiO_2两个体系作为烧结助剂,在大气中对氮化硅坯体在1400~1550℃进行烧结.研究了烧结温度、烧结助剂体系对氮化硅的氧化程度、氧化产物的影响.结果表明,以 MgO-Al_2O_3-SiO_2作烧结助剂有利于α-Si_3N_4 转变为β-Si_3N_4,且该烧结助剂体系的的抗氧化能力也明显优于 Y_2O_3-Al_2O_3体系.氮化硅在不同温度烧结时形成的氧化产物不同.
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