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胡芳
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硅谐振微传感器中微现象测量技术
关键词:信息处理 微现象测量 谐振微传感器
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术 :激励功率控制 ,超声频谐振频率的测量 ,频率特性的测定 ,品质因数的确定 ,克服电热效应的不良影响 ,同频干扰的抑制等。
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