硅谐振微传感器中微现象测量技术_中文_期刊

硅谐振微传感器中微现象测量技术

更新时间：2019-05-21 访问次数：

关键词：信息处理　　微现象测量　　谐振微传感器

发明人：周浩敏，胡芳，兰巍，邢维巍

作者单位：北京航空航天大学自动化学院　　北京　　（100083）

内容提要：主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术 :激励功率控制 ,超声频谐振频率的测量 ,频率特性的测定 ,品质因数的确定 ,克服电热效应的不良影响 ,同频干扰的抑制等。

期刊名：强度与环境

期号：第1期

年份：2002

页数：59-64