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万修如
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同时沉积铬硅的热力学计算
关键词:热力学计算 同时沉积铬硅 卤化物活化剂
用 Solgasmix- PV软件包对沉积反应进行热力学计算。结果表明 ,用原位 CVD方法、采用三元卤化物活化剂 ,在热力学上可以同时沉积铬硅 ,并且渗源中的铬硅比例按 12 / 1配置可以获得理想的渗层。
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