同时沉积铬硅的热力学计算_中文_期刊

同时沉积铬硅的热力学计算

更新时间：2019-05-21 访问次数：

关键词：热力学计算　　同时沉积铬硅　　卤化物活化剂

发明人：郭伟明，万修如

作者单位：北京航空航天大学

内容提要：用 Solgasmix- PV软件包对沉积反应进行热力学计算。结果表明 ,用原位 CVD方法、采用三元卤化物活化剂 ,在热力学上可以同时沉积铬硅 ,并且渗源中的铬硅比例按 12 / 1配置可以获得理想的渗层。

期刊名：材料工程

期号：第3期

年份：1997

页数：13-16