作者：王洪，王石刚，黄文振，徐威，张键雄

作者联系方式：上海交通大学机械工程学院;

关键词：等倾干涉，窗口法，跟踪定位，机器视觉，最小二乘法，平面度标准件

会议名称：第一届国际机械工程学术会议

会议地点：中国上海

出版社：国际机械工程学会联合会

摘要：本文介绍了一种新颖的基于平面等倾干涉原理的机器视觉高精度平面度测量系统。它利用等倾干涉原理,通过CCD提取随平面度变化的明暗相交干涉园环条纹信息,根据条纹中心不变性和中心对称性,以开始测量点适当级次条纹中心为参考条纹,间隔90度建立四个扇形窗口,对窗口内条纹信息处理,得到细化后条纹在公安处口上的径向位置,参照前一测量点干涉条纹径向位置,得到进一步条纹在被检测平面各测点的变化量N;得到既能反映出半波长整数位,又能反映半波长小数位的被测量点和起始点高度差信息,利用最小二乘原理,处理N值,最终得到被测量件平面度误差。该系统用于高精度的平面度标准件(平晶、研磨平尺)测量具有现实的意义。文章内容包括等倾干涉原理、窗口坐标尺的建立、图象预处理、条纹跟踪定位、条纹记数、最小二乘法评定平面度等。