DEM技术中PMMA深层刻蚀工艺研究
更新时间：2019-05-21
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作者联系方式：杨帆, 上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海); 陈迪, 上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海); 李以贵, 上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海); 唐敏, 上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海); 毛海平, 上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海); 李昌敏, 上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海); 倪智萍, 上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海)
会议名称：第五届全国微米/纳米技术学术会议
会议地点：重庆
召开年：2001
出版社：压电与声光技术研究所
