蒙特卡罗方法模拟电子束曝光_中文_会议论文

蒙特卡罗方法模拟电子束曝光

更新时间：2019-05-21 访问次数：

作者联系方式：任黎明,中国科学院微电子中心微光刻实验室(北京);陈宝钦,中国科学院微电子中心微光刻实验室(北京);刘明,中国科学院微电子中心微光刻实验室(北京);张建宏,中国科学院微电子中心微光刻实验室(北京);谭震宇,山东大学电气工程学院(济南)

会议名称：第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点：成都

召开年：2001

出版社：中国电子学会