Ti-O-N薄膜的制备及其性能的研究_中文_会议论文

Ti-O-N薄膜的制备及其性能的研究

更新时间：2019-05-21 访问次数：

会议名称：中国真空学会2006年学术会议

会议地点：中国陕西西安

召开年：2006

摘要：近年来,TiO2光催化技术引起了人们的广泛重视,光催化技术不仅能处理多种有机物,而且还有很好的杀菌和抑制病毒活性的作用,但是TiO2只能在紫外光波段被激发,对太阳光可见光波段的利用率极低,而N掺杂TiO2可以吸收可见光,以提高可见光的利用,从而提高光催化效率。本文采用非平衡磁控溅射在O2和N2的混合气氛中制备Ti-O-N薄膜,研究了反应气体(N2+O2)

Ti-O-N薄膜的制备及其性能的研究

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