掺铝氧化锌粉末及其陶瓷靶的制备与性能分析
更新时间：2019-05-21
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分类号：TB383.1
会议名称：第七届中国功能材料及其应用学术会议
会议地点：中国湖南长沙
召开年：2010
摘要：以硝酸、高纯锌、硝酸铝、尿素为原料,采用均匀沉淀法制备掺铝氧化锌(AZO)粉末,借助769YP-24B型压片机预制AZO陶瓷靶坯体,经常压高温烧结成高致密度、高导电性的AZO陶瓷靶。运用XRD、SEM、电阻率仪等测试手段对制得的AZO粉末和AZO陶瓷靶的形貌结构及电学等性能进行表征。研究结果表明,AZO粉末晶粒大小均匀,平均粒径大小为60nm,AZO靶材的电阻率为2.14×10~(-3)Ω·cm,相对密度达到98.61%。
