溅射工艺对金属Nb薄膜微结构及红外反射特性的影响
更新时间：2019-05-21
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作者联系方式：北京航空航天大学理学院;凝聚态物理与材料物理研究中心;中国空间技术研究院;
会议名称：第九届全国X-射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心（ICDD）研讨会
会议地点：中国浙江杭州
召开年：2006
出版社：中国物理学会X-射线衍射专业委员会、中国晶体学会粉末衍射专业委员会、国家自然科学基金委员会工程与材料科学部、中国科学院物理研究所、北京市硅酸盐学会、International Centre for Diffraction Data,USA
摘要：本文采用直流磁控溅射方法,改变溅射功率和溅射气压,在不锈钢基底上制备了金属 Nb 薄膜。分别采用 XRD 和傅立叶红外光谱仪对不同工艺参数下薄膜结构参数和红外反射谱进行了测试。讨论了工艺参数、晶体结构参数与红外反射特性之间的关系,分析了影响红外反射特性的原因。结果表明,在不同工艺条件下制备的 Nb 膜均为面心立方结构,且呈现很强的(110)结晶取向,溅射功率和溅射气压均会通过影响溅射过程、薄膜结构、致密度和表面形态而影响薄膜的红外反射率。
