MEMS发展应用现状
更新时间：2019-05-21
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关键词：微机电系统 发展 应用
发明人：李旭辉
作者单位：北京航空航天大学智能系统与控制工程系 北京
内容提要：微机电系统(MEMS)技术有小尺寸、多样化、微电子等特点,它将信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到了新的高度。MEMS做成的惯性器件(微加速度计和微型陀螺)以及MEMS在小型卫星、海陆空作战平台及信息传递、航空航天、生物医疗和医学等方面有广泛应用。
期刊名：传感器与微系统
期号：第5期
年份：2006
页数：7-9
