纳米半导体器件与纳米电子学
更新时间:2019-05-21
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关键词:纳米半导体 纳米器件 纳米电子学 量子点
发明人:何宇亮
作者单位:北京航空航天大学非晶态物理与光信息研究室
内容提要:本文综述了微电子技术向纳米空间(=10-9米)的进展所必将引起的一系列新的变化及其在半导体领域中蕴酿的一场技术革命,同时还论述了这一场技术革命所具备的思想基础及其发展概况.
期刊名:半导体杂志
期号:第4期
年份:1994
页数:8-18